밤새서 창재애들꺼 도와준다고 ALD 공정 돌렸는데 CVD가 일어남
열화되어 열분해가 일어난줄알고 온도를 낮춰 시행
또 CVD가 일어남
어쩌지 했는데
박사형이 공정할때 압력을 보시더니 완전히 PURGE가 되지않은것이라고 얘기해주심
역시 사람은 머리가 좋아야한다.